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レーザー干渉変位計

レーザー干渉変位計

FPS3010

FPS3010

レーザー干渉変位計

attocube社のレーザー干渉変位計は、ナノメーターレベルの精度及び数メートルの作動距離を実現したレーザー干渉変位計です。
元々、数インチの限られた極低温空間で走査型プローブ顕微鏡に使用することを想定して作製されたFPS3010は、下記特長をもつ高精度・高機能且つ汎用性も高い魅力的な製品です。
FPS3010は、データの可視化と保存が可能なソフトウエアが付属しているため実験用途への利用に適しています。

 

特長

  • ナノメーターレベルの精度
  • 数メートルの作動距離
  • 極低温・超高真空など、過酷な環境下で使用可能
  • 最小直径1.2mm、小さなセンサーヘッド
  • ガラスや屈曲物も測定可能
  • 10MHzの高速応答性
  • 広い許容アライメント角度と最高レベルの使い勝手の良さ
  • データの可視化と保存が可能なソフトウエア付属

 

仕様

センサ/th>
センサの数 1 または 3 (1軸仕様からアップグレード可能)
計測範囲 0から最高3000mm
分解能 1 pm
位置再現性 2nm (作動範囲:10mm 、真空中)
対象物の最大速度 2 m/s
測定帯域幅 最高10MHz(AquadB)、約100kHz(USB)
安定性(2σ) 0.286nm(作動距離:20mm 、-269°C)
操作モード
測定モード 変位、振動
リモート操作 USB2.0, (Ethernetはオプション)
出力シグナル USB, AquadB, HSSL (Ethernetはオプション)
変位測定用シグナル IRレーザー
センサアライメント調整 ソフトウエアシグナル参照し、手動調整
センサ初期化 全自動
インターフェイス
デジタルインターフェイス AquadB, HSSL(リアルタイム)
センサ初期化 全自動
コントローラ
筐体 48.5 x 26.5 x 4.5 cm3
重量 1.9kg
電力供給 100/115/230V, 50-60Hz
消費電力 最大100W
測定レーザー
レーザーソース DFBレーザー
レーザーパワー 150µW
レーザー波長 1530nm
波長安定性 50ppb

 

レーザー干渉変位計FPSの構成と関連アプリケーション

  • センサーヘッドは、設置スペース・設置環境(温度・真空度)・測定距離/変位量・対象物(材質と表面状態)等をお聞きし、最適なものをご紹介します。
  • 環境補正キッドや角度測定オプション、データマーカーオプションの他、真空フィードスルー等のアクセサリーもご用意しています。

 

センサーヘッド

使用環境や測定対象物、用途によって選択可能です。対物レンズや高温用ヘッドなどの各種カスタマイズも承ります。

環境補正キット

空気中でも1ppm以下に誤差を抑えます。

 

 

角度測定オプション

2点以上の測定で角度変化を計測できます。

 

 

ファイバー

ファイバー長やジャケット材料の変更も可能です。

真空フィードスルー

ファイバー用光学フィードスルー。

レトロリフレクタ

長距離測定でのアライメント調整に便利です。

光学部品キット等

センサーヘッド固定治具やケーブル各種を取り合そろえています。

 

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